http://warm-ir-halogen.com/vi/tags/mems/ Recent content in MEMS on Warm IR Halogen Heating Hugo vi Sat, 18 Jul 2026 02:00:22 +0800 http://warm-ir-halogen.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sat, 18 Jul 2026 02:00:22 +0800 http://warm-ir-halogen.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Máy sấy wafer cảm biến MEMS"></p> <p><strong>Bảo vệ các tấm wafer MEMS <a href="https://o-yate.com">trong</a> quá trình sấy khô</strong><br> Thực tế là việc sấy khô các tấm wafer cảm biến MEMS sau khi được làm sạch bằng hóa chất giống như việc chơi đùa với lửa vậy. Các bộ phận gia nhiệt nằm ngay gần những chất dễ cháy, dễ nổ. Nếu sử dụng đèn hồng ngoại thông thường để thực hiện công việc này, bạn đang tự chuốc rắc rối cho mình.</p> http://warm-ir-halogen.com/vi/posts/mems-wafer-drying-heater/ Tue, 02 Jun 2026 04:09:21 +0800 http://warm-ir-halogen.com/vi/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Bộ gia nhiệt sấy tấm wafer MEMS"></p> <p>Trên dây chuyền 300 mm, một sai lệch dưới 0,1°C trong quá trình sấy đã đủ làm dịch chuyển một kích thước quan trọng tính bằng <a href="https://henruite.com">nanomet</a>—và theo đó số lượng hạt bụi tăng lên. Chính đây là yêu cầu mà bộ gia nhiệt sấy wafer MEMS được thiết kế đáp ứng, nơi hành vi nhiệt không chỉ là một tham số mà là cả quy trình.</p> <p><strong>Những điểm chúng tôi tập trung bên trong thiết bị</strong><br> Chúng tôi thiết kế bộ gia nhiệt dựa trên truyền nhiệt <a href="https://o-yate.net">nhanh</a> và ổn định: các phần tử hồng ngoại sóng ngắn kết hợp với cụm thạch anh và gốm có khối lượng nhiệt thấp. Kết quả đạt được là phản hồi dưới một giây và độ đồng đều nhiệt trên wafer trong phạm vi ±0,1°C. Độ lặp lại điểm đặt duy trì trong khoảng ±0,5°C suốt 24/7, giúp các profile sấy mềm và sấy cứng theo đúng công thức, lần chạy này nối tiếp lần chạy khác. Bề mặt được đánh bóng và kín để giảm sinh hạt, đồng thời vỏ máy đạt tiêu chuẩn phòng sạch Class 1–100. Trong thực tế vận hành, MTBF vượt 20.000 giờ, và sau 5.000 giờ chỉ giảm công suất đầu ra dưới 5%.</p>