http://warm-ir-halogen.com/uk/tags/resist/ Recent content in Resist on Warm IR Halogen Heating Hugo uk Fri, 05 Jun 2026 01:45:43 +0800 http://warm-ir-halogen.com/uk/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 01:45:43 +0800 http://warm-ir-halogen.com/uk/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Глибокий УФ (ДУФ) лампа для випікання резисту"></p> <p>На площині літографії ви знаєте, як це працює: випікання, яке відхиляється навіть на півградуса, виводить контроль CD з норми. Ви пропускаєте DUV фотополімер через м&rsquo;яке та тверде випікання, щоб видалити розчинник і зафіксувати профіль. Якщо термічний бюджет порушено, лінії розширюються, шорсткість країв зростає, і вся партія раптом потрапляє в червону зону. Лампа для випікання DUV резисту призначена для усунення цієї варіативності.</p> <p><strong>Що дійсно важливо в основі</strong> Ми створили цю лампу, щоб вивільняти енергію коротких хвиль там, де DUV резист дійсно її поглинає, з кварцовими частинами, які підтримують стабільність спектра. По всій поверхні чіпа, однорідність на рівні пластини тримається в межах ±0,1°C, тому кожна пластина в партії має однакову історію температури. Поведінка у чистій кімнаті не є додатковою думкою—приміщення класу 1–100 не бачать жодного збільшення часток, а гаряча зона залишається зосередженою, тому вивітрювання не може забруднити резист. Вихід повторюється протягом тисяч циклів випікання, а теплову масу контролюють, щоб уникнути дрейфу, коли лінія працює 24/7.</p>