http://warm-ir-halogen.com/uk/tags/%D1%94%D0%B4%D0%BD%D1%96%D1%81%D1%82%D1%8C/ Recent content in Єдність on Warm IR Halogen Heating Hugo uk Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/uk/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/uk/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Лампа для випалювання фотoresисту забезпечує однорідність процесу"></p> <p>На цеху літографії процеси „м’якого“ та „жорсткого“ випалювання є ключовими етапами, під час яких формується або порушується профіль фотополімеру. Якщо процес випалювання не є однорідним по всій поверхні пластини, це призводить до змін її товщини. Це згодом проявляється у відхиленнях параметрів CD після етчування, а пластина стає непридатною до подальшого використання.</p> <p><strong>Що є важливим у цьому процесі</strong><br> Ми створили лампу для випалювання фотополімеру на основі массиву джерел короткочастотного інфрачервоного світла, поєднаного з кварцовим склом, зміцненим вуглецевими волокнами. Це забезпечує однорідність температури на поверхні пластини до рівня ±0,1°C, а повторюваність температури залишається в межах ±0,5°C між циклами. Массив з 16 датчиків дозволяє контролювати профіль температури в закритому циклі, що забезпечує стабільні умови для випаровування розчинника з фотополімеру без перевищення заданих значень. Лампа працює 24/7 у чистих приміщеннях класу 1–100 та не створює жодних частинок; це підтверджується показниками кількості частинок, які залишаються нижче 0,01/см².</p>