http://warm-ir-halogen.com/uk/tags/%D0%B2%D1%96%D1%84%D0%BB%D0%B5%D1%94%D0%BC%D1%81%D1%8C%D0%BA%D0%B8%D0%B9-%D1%85%D0%BB%D1%96%D0%B1%D0%B5%D1%86%D1%8C/ Recent content in Віфлеємський Хлібець on Warm IR Halogen Heating Hugo uk Sun, 28 Jun 2026 02:00:38 +0800 http://warm-ir-halogen.com/uk/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Sun, 28 Jun 2026 02:00:38 +0800 http://warm-ir-halogen.com/uk/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Висока точність нагріву для ІЧ процесів з використанням пластин"></p> <p>На виробничій лінії процес літографії відбувається у своєму власному темпі – неможливо зупинити процес, коли він вже триває. Якщо температура під час процедури нагрівання фотоповерхневого шару змінюється, це призводить до змін критичних розмірів деталей, що, у свою чергу, погіршує якість продукції. Тож необхідно, щоб температура залишалась стабільною та однаковою по всій поверхні пластини, а також щоб процес нагрівання повторювався щоразу, коли пластина потрапляє на станцію обробки.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Ми використовуємо нагрівачі на основі інфрачервоного випромінювання, які забезпечують точне розподілення тепла саме там, де це необхідно для правильної обробки фотоповерхневого шару. Це досягається завдяки використанню короткохвильового інфрачервоного джерела, яке підходить для даного процесу. Рівномірність температури по всій поверхні пластини становить ±0,1°C, а точність регулювання температури – ±0,2°C. Це гарантує, що кожна партія продукції буде оброблена за однакових умов. Кварцові емітери значно зменшують кількість частинок, які можуть утворитися під час процесу нагрівання, а також забезпечують сумісність з умовами чистої кімнати класу 1–100. Завдяки контролю в закритому циклі, який здійснюється за допомогою датчика класу A, відхилення температури залишається меншим за 0,5°C – це дозволяє захистити делікатні елементи пластини та забезпечити швидке досягнення бажаної температури.</p>