http://warm-ir-halogen.com/tr/tags/wafers/ Recent content in Wafers on Warm IR Halogen Heating Hugo tr Sun, 28 Jun 2026 02:00:37 +0800 http://warm-ir-halogen.com/tr/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Sun, 28 Jun 2026 02:00:37 +0800 http://warm-ir-halogen.com/tr/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Wafer IR için yüksek hassasiyetli ısıtma"></p> <p>Üretim alanında litografi işlemi kendi hızında ilerler; işlem devam ederken durdurulamaz. Eğer foto dirençlerin ısıl işlemi sırasında sıcaklık değişiklikleri olursa, kritik boyutlarda değişiklikler meydana gelir ve ürün kalitesi düşer. İhtiyaç duyulan şey, sabit bir sıcaklık sağlayan, wafer’in her yerinde eşit sıcaklık dağılımı sağlayan ve her seferinde aynı termal profili tekrarlayabilen bir sistemdir.</p> <p><strong>Teknik açıdan ö<a href="https://goldisgood.com">nemli</a> olanlar</strong> Biz, süreç koşullarına uygun kısa dalga boylu kızılötesi kaynaklar kullanarak, foto dirençlerin ihtiyaç duyduğu yere hassas bir şekilde ısı uygulayan wafer ısıtıcıları kullanıyoruz. Wafer’in her yerinde sıcaklık uniformitesi ±0,1°C civarında olmalı ve ayarlanan sıcaklık değerlerinin tekrarlanabilirliği ise ±0,2°C olmalıdır. Böylece her parti aynı koşullarda işlenmiş olur. Kuvars tabanlı emiter tasarımı, parçacık oluşumunu sıfıra indirir ve Cleanroom Class 1–100 standartlarına uyum sağlar. A sınıfı sensörlerle kontrol edilen kapalı döngü kontrol sistemi, aşırı sıcaklık artışlarını 0,5°C’nin altında tutar; böylece hassas yapılar korunurken hızlı bir şekilde ısınma sağlanır.</p>