http://warm-ir-halogen.com/tr/tags/foto-diren%C3%A7/ Recent content in Foto Direnç on Warm IR Halogen Heating Hugo tr Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/tr/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/tr/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Eşitlik sağlayan fotoresist ısıtma lambası"></p> <p>Litografi işlemlerinde, fotoğraf direncinin şekillendiği veya bozulduğu yerler “yumuşak pişirme” ve “sert pişirme” aşamalarıdır. Eğer pişirme işlemi wafer üzerinde eşit olmazsa, kalınlık farklılıkları ortaya çıkar. Bu <a href="https://o-yate.com">durum</a>, işlemden sonra waferin boyutlarında değişikliklere yol açar ve wafer kullanılamaz hale gelir.</p> <p><strong>Önemli olan detaylar</strong><br> Fotoğraf direncini pişirmek için kullandığımız cihaz, kısa dalga boyundaki NIR ışık kaynaklarından oluşur ve bu ışık kaynakları karbon fiber destekli kuvars pencerelerle birlikte çalışır. Bu sistem, wafer üzerindeki sıcaklık farklarını ±0,1°C seviyesinde tutar; sıcaklık tekrarlanabilirliği ise döngüden döngüye ±0,5°C arasında kalır. 16 sensörden oluşan sistem, profili kapalı döngü kontrolü altında tutarak, çözücünün dirençten etkili bir şekilde uzaklaştırılmasını sağlar. Bu cihaz, Class 1–100 temiz odalarda 24/7 çalışır ve 0,01/cm²’nin altında parçacık üretir.</p>