หลอดไฟสำหรับการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์เพื่อให้เกิดความสม่ำเสมอ

Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800

ในขั้นตอนการพิมพ์บนแผ่นสารกึ่งตัวนำ การอบร้อนแบบอ่อนและการอบร้อนแบบแข็งเป็นขั้นตอนที่กำหนดรูปร่างของสารกึ่งตัวนำ หากการอบร้อนไม่สม่ำเสมอไปทั่วแผ่นวาเฟอร์ ก็จะเกิดความแตกต่างของความหนาของสารกึ่งตัวนำ ซึ่งจะส่งผลให้เกิดความแปรปรวนในขนาดของแผ่นวาเฟอร์หลังจากการกัด และทำให้แผ่นวาเฟอร์นั้นกลายเป็นของเสีย

สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราได้ออกแบบหลอดไฟสำหรับการอบร้อนสารกึ่งตัวนำโดยใช้เครื่องถ่ายเทคลื่นแสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ร่วมกับหน้าต่างที่ทำจากควอตซ์ที่มีเส้นใยคาร์บอนเป็นส่วนประกอบ หลอดไฟนี้ช่วยให้อุณหภูมิของแผ่นวาเฟอร์อยู่ในระดับความแม่นยำ ±0.1°C และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ในระดับ ±0.5°C ระหว่างการอบร้อนแต่ละครั้ง อุปกรณ์ตรวจจับ 16 ตัวช่วยในการควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำ ทำให้สามารถกำจัดสารละลายออกจากสารกึ่งตัวนำได้อย่างมีประสิทธิภาพ หลอดไฟนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมงในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 และไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ เลย โดยมีการตรวจสอบจำนวนอนุภาคในระดับต่ำกว่า 0.01/cm²

นี่คือเหตุผลว่าทำไมความแม่นยำนี้จึงส่งผลต่อคุณภาพของแผ่นวาเฟอร์ การอบร้อนแบบอ่อนช่วยให้สามารถกำจัดสารละลายออกได้อย่างสม่ำเสมอ ส่วนการอบร้อนแบบแข็งช่วยให้สารกึ่งตัวนำมีรูปร่างที่แน่นอน ทำให้ความกว้างของแผ่นวาเฟอร์และมุมด้านข้างอยู่ในระดับที่เหมาะสม

การกัดแผ่นวาเฟอร์ก็แสดงให้เห็นถึงความดีขึ้นนี้ทันที โดยมีผลกระทบจากความดันต่ำลดลง ไม่มีการต้องทำงานซ้ำ และสามารถควบคุมขนาดของแผ่นวาเฟอร์ได้อย่างแม่นยำ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะหลอดไฟสามารถรักษาอุณหภูมิไว้ได้ภายในไม่กี่วินาที และมีความเบี่ยงเบนของอุณหภูมิน้อยมาก ทำให้ไม่มีการสูญเสียพลังงานไปเปล่าๆ

การติดตั้งหลอดไฟนี้ทำได้ง่าย แต่จำเป็นต้องมีแหล่งจ่ายไฟ 24VDC และอากาศที่สะอาดและแห้ง เพื่อรักษาอุณหภูมิของหน้าต่างไว้ในระดับที่กำหนด หลอดไฟนี้สามารถนำมาใช้กับเครื่องมือสำหรับการเคลือบ/อบร้อนได้เกือบทุกชนิด แต่จำเป็นต้องมีอุปกรณ์ปรับแต่งสำหรับแต่ละเครื่องมือด้วย

ควรวางแผนเรื่องการควบคุมอุณหภูมิสำหรับขั้นตอนการอบร้อนทั้งหมดด้วย ประสิทธิภาพของหลอดไฟขึ้นอยู่กับมวลความร้อนของแผ่นวาเฟอร์และโครงสร้างของแผ่นวาเฟอร์ด้วย

ความสม่ำเสมอ on Warm IR Halogen Heating

หลอดไฟสำหรับการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์เพื่อให้เกิดความสม่ำเสมอ