http://warm-ir-halogen.com/ru/tags/%D0%B4%D1%83%D0%B2/ Recent content in (ДУВ) on Warm IR Halogen Heating Hugo ru Fri, 05 Jun 2026 01:45:42 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ru/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 01:45:42 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ru/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Лампа для отжига резиста глубокого ультрафиолета (DUV)"></p> <p>На литографическом этаже вы знаете, как обстоят дела: выпечка, отклоняющаяся даже на половину градуса, выводит контроль CD за пределы спецификаций. Вы пропускаете DUV-фоторезист через мягкую и жесткую выпечку, чтобы удалить растворитель и зафиксировать профиль. Если тепловой бюджет нарушен, линии расширяются, шероховатость краев увеличивается, и вся партия оказывается в красной зоне. Ультрафиолетовая лампа для выпечки DUV предназначена для устранения этой изменчивости.</p> <p><strong>Что действительно имеет значение под капотом</strong><br> Мы разработали эту лампу, чтобы направлять коротковолновую энергию туда, где DUV-фоторезист действительно ее поглощает, с кварцевыми деталями, которые обеспечивают стабильность спектра. По всей поверхности подложки однородность на уровне пластин составляет ±0.1°C, так что каждая пластина в партии получает одинаковую историю температур. Поведение в чистой комнате не является второстепенным — пространства класса 1–100 не испытывают увеличения числа частиц, а горячая зона остается изолированной, так что выделение газов не может загрязнить резист. Выход повторяется на протяжении тысяч циклов выпечки, а тепловая масса управляется так, чтобы не было смещения, когда линия работает круглосуточно и без выходных.</p>