http://warm-ir-halogen.com/pl/tags/fotopolimer/ Recent content in Fotopolimer on Warm IR Halogen Heating Hugo pl Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/pl/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/pl/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Lampa do wypalania fotorezystu jednolitościowego"></p> <p>Na stanowisku litograficznym procesy „miękkiego” i „twardego” suszenia decydują o tym, jak będzie wyglądał profil fotorezystu. Jeśli suszenie nie jest jednolite na całej powierzchni płytki, powstają różnice w jej grubości. To z kolei przekłada się później na odchylenia w rozmiarach płytki po procedurze wyżarzania, a płytka staje się bezużyteczna.</p> <p><strong>Co jest istotne pod względem technicznym</strong> Lampę do suszenia fotorezystu zaprojektowaliśmy tak, aby składała się z układu emiterów krótkofalowego światła NIR, połączonych z oknem z kwarcu wzmocnionego włóknem węglowym. Dzięki temu uzyskujemy jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C, a powtarzalność temperatury wynosi ±0,5°C pomiędzy poszczególnymi cyklami suszenia. Układ 16 czujników umożliwia precyzyjną kontrolę temperatury, co pomaga usunąć rozpuszczalniki z fotorezystu bez nadmiernych strat energii. Lampa może pracować 24/7 w środowiskach klasy 1–100, przy czym nie wytwarza żadnych cząstek – co potwierdzają pomiary liczby cząstek poniżej 0,01/cm².</p>