http://warm-ir-halogen.com/pl/tags/duv/ Recent content in (DUV) on Warm IR Halogen Heating Hugo pl Fri, 05 Jun 2026 01:45:42 +0800 http://warm-ir-halogen.com/pl/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 01:45:42 +0800 http://warm-ir-halogen.com/pl/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Lampa do wypieku rezystorów głębokiego UV (DUV)"></p> <p>Na podłodze litograficznej znasz procedurę: wypiek, który odbiega nawet o pół stopnia, powoduje, że kontrola CD wypada poza specyfikację. Przechodzisz przez proces soft bake i hard bake dla DUV photoresist, aby usunąć rozpuszczalnik i zablokować profil. Jeśli budżet termiczny jest nieprawidłowy, linie stają się szerokie, chropowatość krawędzi rośnie, a cała partia nagle jest w czerwonym. Lampa do wypieku DUV jest zaprojektowana, aby zredukować tę zmienność.</p> <p><strong>Co jest naprawdę istotne w środku</strong> Zbudowaliśmy tę lampę, aby dostarczać energię krótkofalową tam, gdzie DUV resist rzeczywiście ją absorbuje, z częściami kwarcowymi, które utrzymują stabilność widma. Wzdłuż chucka, jednorodność na poziomie wafla utrzymuje się w granicach ±0,1°C, więc każdy wafel w partii doświadcza tej samej historii temperatury. Zachowanie w czystym pomieszczeniu nie jest przypadkowe – przestrzenie klasy 1–100 nie doświadczają wzrostu cząsteczek, a strefa gorąca pozostaje <a href="https://o-yate.com">zamkni</a>ęta, więc odgazowywanie nie może zanieczyścić resist. Wynik jest powtarzalny przez tysiące cykli wypieku, a masa termiczna jest zarządzana w taki sposób, aby nie występowała zmiana podczas pracy linii 24/7.</p>