HEATER VOOR HET DROGEN VAN MEMS SENSORSCHILS

Sat, 18 Jul 2026 02:00:22 +0800

Het behouden van veiligheid bij het drogen van MEMS-wafers
De realiteit is dat het drogen van MEMS-sensorwafers na een chemische reiniging best gevaarlijk kan zijn. Er zijn immers verwarmingsonderdelen die zich direct naast ontvlambare en explosieve stoffen bevinden. Als je probeert hiervoor een gewone infraroodlamp te gebruiken, loop je grote risico’s.

Daarom ontwerpen we onze IR-verwarmers op een andere manier. Ze worden omhuld door een speciale coating die voorkomt dat chemicaliën het gloeidraad beschadigen. Bovendien zorgt deze coating er ook voor dat er geen vuur kan ontstaan.

MEMS wafel droogverwarmer

Tue, 02 Jun 2026 04:09:21 +0800

Op een 300 mm lijn is een drift van minder dan 0,1°C tijdens het drogen al voldoende om een kritieke afmeting met nanometers te verplaatsen—en tegelijkertijd het aantal deeltjes te zien toenemen. Dit is precies waar MEMS wafer drogers voor zijn ontworpen, waarbij thermisch gedrag niet slechts een parameter is, maar het proces zelf.

Waar we op focussen onder de motorkap
We ontwerpen de heater rond snelle, stabiele warmteoverdracht: kortegolf-infrarood elementen gecombineerd met een kwarts- en keramiekconstructie met lage thermische massa. Het resultaat is een responstijd onder de seconde en wafer-niveau uniformiteit van ±0,1°C. De setpoint-herhaalbaarheid blijft binnen ±0,5°C, 24/7, waardoor soft bake en hard bake profielen exact het recept volgen, run na run. De oppervlakken zijn gepolijst en afgedicht om deeltjesvorming te minimaliseren, en de behuizing is gekwalificeerd voor cleanroom Klasse 1–100. In de praktijk ligt de MTBF boven de 20.000 uren, en na 5.000 uren is het vermogensverlies minder dan 5%.

Drogen on Warm IR Halogen Heating

HEATER VOOR HET DROGEN VAN MEMS SENSORSCHILS

MEMS wafel droogverwarmer