http://warm-ir-halogen.com/ms/tags/fotoreseptor/ Recent content in Fotoreseptor on Warm IR Halogen Heating Hugo ms Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ms/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ms/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Lampu untuk proses pembakaran bahan fotoresist yang memastikan keseragaman."></p> <p>Dalam proses litografi, proses “soft bake” dan “hard bake” merupakan langkah-langkah di mana profil photoresist dibentuk atau diubah. Jika proses pemanasan tidak dilakukan secara seragam pada keseluruhan permukaan wafer, ia akan menyebabkan perbezaan ketebalan pada permukaan wafer tersebut. Perbezaan ini akan menyebabkan masalah seperti perubahan nilai CD setelah proses etching, dan akhirnya wafer tersebut akan menjadi barang buangan.</p> <p><strong>Apa yang penting dalam proses ini</strong><br> Lampu yang digunakan untuk proses pemanasan photoresist ini direka berdasarkan sistem pemancar cahaya gelombang pendek jenis NIR, bersama-sama dengan tingkap kuarza yang diperkuat dengan serat karbon. Sistem ini memastikan suhu pada permukaan wafer kekal stabil pada tahap ±0.1°C, manakala pengulangan suhu pula berada dalam lingkungan ±0.5°C dari satu kitaran ke kitaran yang lain. Array sensor sebanyak 16 buah membantu mengawal suhu dengan <a href="https://o-yate.com">lebih</a> tepat, sehingga cecair dalam photoresist dapat dikeluarkan tanpa menyebabkan masalah. Lampu ini beroperasi 24/7 dalam bilik bersih kelas 1–100, dan tidak menghasilkan sebarang zarah, seperti yang dibuktikan melalui pengiraan jumlah zarah yang kurang dari 0.01/cm².</p>