Lampu bakar resist UV Dalam (DUV)

Fri, 05 Jun 2026 01:45:42 +0800

Di lantai litografi, anda tahu prosedurnya: pemanasan yang menyimpang walaupun setengah darjah akan mengganggu kawalan CD. Anda menjalankan fotoresist DUV melalui pemanasan lembut dan pemanasan keras untuk mengeluarkan pelarut dan mengunci profil. Jika bajet terma tidak betul, garis akan melebar, kekasaran tepi meningkat, dan keseluruhannya tiba-tiba dalam keadaan tidak baik. Lampu pemanasan resist DUV ada untuk mengurangkan variabiliti ini.

Apa yang sebenarnya penting di dalamnya
Kami membina lampu ini untuk membebaskan tenaga gelombang pendek di mana resist DUV sebenarnya menyerapnya, dengan bahagian kuarza yang mengekalkan spektrum yang stabil. Di seluruh chuck, keseragaman tahap wafer mengekalkan dalam ±0.1°C, jadi setiap wafer dalam batch melihat sejarah suhu yang sama. Tingkah laku bilik bersih bukanlah satu pemikiran selepas; ruang Kelas 1-100 tidak melihat sebarang bump zarah, dan zon panas kekal terkurung supaya pengeluaran gas tidak mencemari resist. Keluaran berulang beribu-ribu kitaran pemanasan, dan jisim termal diuruskan supaya anda tidak mengalami penyimpangan apabila garis beroperasi 24/7.

(DUV) on Warm IR Halogen Heating

Lampu bakar resist UV Dalam (DUV)