http://warm-ir-halogen.com/ko/tags/uv/ Recent content in UV on Warm IR Halogen Heating Hugo ko Fri, 05 Jun 2026 01:45:42 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ko/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 01:45:42 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ko/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="딥 UV (DUV) 레지스트 베이크 램프"></p> <h1 id="리소그래피-현장에서의-실무">리소그래피 현장에서의 실무</h1> <p>리소그래피 현장에서는 절차가 명확합니다. 반도체의 온도가 반도체 공정 규격에서 벗어나면 CD 제어가 불안정해집니다. DUV 포토레지스트는 솔벤트를 제거하고 프로파일을 고정하기 위해 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정을 거칩니다. 열 예산이 맞지 않으면 선이 넓어지고, 에지 거칠기가 증가하며, 전체 공정이 적색 경고 상태에 빠질 수 있습니다. DUV 레지스트 베이크 램프는 이러한 변동성을 제거하기 위해 설계되었습니다.</p>