http://warm-ir-halogen.com/ko/tags/%EC%A0%95%EB%B0%80%EB%8F%84/ Recent content in 정밀도 on Warm IR Halogen Heating Hugo ko Sun, 12 Jul 2026 06:10:48 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Sun, 12 Jul 2026 06:10:48 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="웨이퍼용 고정밀 적외선 센서"></p> <p>고부하 IR 램프에 문제가 생겼을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법<br> 솔직히 말해서, 고부하 반도체 제조 환경에서 램프가 고장나는 것은 큰 재앙입니다. 그건 단순히 5분 안에 교체할 수 있는 손상된 부품이 아닙니다. 혼란스러운 상황이 벌어지죠. 석영관이 깨지면 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어집니다. 그렇게 되면 전체 생산량이 망가지고, 청소 작업도 힘들어집니다.<br> 우리는 그런 일이 일어나지 않도록 IR 램프를 설계합니다.</p> http://warm-ir-halogen.com/ko/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Sun, 28 Jun 2026 02:00:37 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ko/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="웨이퍼용 고정밀 가열 시스템"></p> <p>생산 현장에서는 리소그래피 작업이 자체적인 속도로 진행되기 때문에, 공정이 진행 중일 때는 일시 정지시킬 수 없습니다. 포토레지스트를 소프트 베이크하거나 하드 베이크하는 동안 IR 온도가 변동하면, 치명적인 문제가 발생할 수 있으며, 그로 인해 생산 효율도 저하됩니다. 따라서 필요한 것은 일정한 온도를 유지하고, 웨이퍼 전체에 균일한 온도를 제공하며, 매번 동일한 열 처리 프로파일을 반복할 수 있는 시스템입니다.</p>