http://warm-ir-halogen.com/ko/tags/%EC%98%81%ED%99%94/ Recent content in 영화 on Warm IR Halogen Heating Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 00:11:09 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ko/posts/battery-separator-film-dryer-fab/ Mon, 01 Jun 2026 00:11:09 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ko/posts/battery-separator-film-dryer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="배터리 분리막 필름 건조 설비"></p> <p>반도체 제조 현장에서는 단 몇 도의 온도 차이가 안정적인 공정을 변동으로 전환시킨다. 리소그래피와 포토레지스트 공정에서 베이크 단계는 단순한 예열이 아니다. 이는 선폭 제어, 측벽 프로파일, 결함 수준을 결정하는 열 예산이다. 드라이어가 미끄러지면 웨이퍼 전반에 걸쳐 소프트 베이크 불균일성이 발생하고, 패턴의 풋팅 및 용제가 남아 입자 발생을 유발한다. 결과는 스크랩, 재작업, 그리고 예기치 않은 장비 가동 중단이다.<br> 우리는 배터리 분리막 필름 드라이어를 반도체 공장용으로 설계했다. 분리막 필름은 웨이퍼 경로에 들어가기 전부터 완전히 건조되어야 한다. 잔류 수분이나 필름 내 열 변동은 포토레지스트 베이크 반복성에 직접적인 영향을 준다. 이 장치는 온도를 안정적으로 유지하고, 입자를 추가하지 않으면서 깨끗한 열을 공급하며, 드리프트 없이 교대 작업을 연속 운전할 수 있도록 제작되었다.</p>