http://warm-ir-halogen.com/ja/tags/ir/ Recent content in IR on Warm IR Halogen Heating Hugo ja Tue, 28 Jul 2026 03:07:57 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/reducing-cycle-times-in-semiconductor-processing-via-aluminum-ir-reflectors/ Tue, 28 Jul 2026 03:07:57 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/reducing-cycle-times-in-semiconductor-processing-via-aluminum-ir-reflectors/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="赤外線ランプ用アルミニウム反射板"></p> <h1 id="空気を温めるための時間の無駄遣いをやめよう">空気を温めるための時間の無駄遣いをやめよう</h1> <p>半導体製造において熱風を利用するとき、その非効率さを知っている人も多いでしょう。空気が温まるまでに時間がかかり、ワークピースが実際に温まる前に、オーブン全体が温まるのを待つ必要があります。まるで料理を始める前にエアヒーターで部屋を温めるようなものです。</p> http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ Sun, 19 Jul 2026 09:44:41 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="IRエミッタ用セラミックエンドキャップ"></p> <p>「ガラスの雨」を止めよう：なぜIRエミッターにはセラミック製のエンドキャップが必要なのか<br> 大量生産が行われる半導体工場では、クォーツチューブが破損すると、それは単なる問題ではなく、大惨事につながります。<br> シリコンウェーハの真上でIRエミッターが破裂したらどうなるでしょうか？単に稼働停止にとどまらず、ガラスの破片や金属片が基板に降り注ぐことになります。一度破損すれば、全体的に汚染が広がってしまいます。<br> これは大変な状況ですが、実際には避けられるのです。</p> http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Sun, 12 Jul 2026 06:10:46 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ用高精度IRセンサー"></p> <p>高負荷のIRランプが故障したときにウェーハをきれいに保つ方法<br> 正直に言って、高負荷の半導体製造装置では、ランプが破損するのは大きな問題です。それは5分で交換できる単純な部品の故障ではありません。ひどい状況になります。石英管が割れると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降りかかります。そうなると、一括してウェーハがダメになり、チャンバーの清掃も大変になります。<br> 私たちは、そのような事態を防ぐためにIRランプを設計しています。</p> http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Sun, 28 Jun 2026 02:00:37 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ウェーハ用高精度加熱IR"></p> <p>製造現場では、リソグラフィーの工程は自分のペースで進行します。工程が進行中に一時停止することはできません。もしフォトレジストのソフトベイクやハードベイクの際に赤外線温度が変動してしまうと、重要な寸法の変化に対処しなければならず、その結果、歩留まりが低下してしまいます。必要なのは、一定の温度を維持し、ウェーハ全体に均一に熱を供給し、毎回同じ熱処理プロファイルを再現できる加熱装置です。</p>