http://warm-ir-halogen.com/ja/tags/%E8%92%B8%E7%99%BA%E5%99%A8/ Recent content in 蒸発器 on Warm IR Halogen Heating Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 01:31:05 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 01:31:05 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="エヴァテック蒸発器用ヒーターランプ"></p> <p>ファブの現場では、熱的なばらつきが黙々と歩留まりを損なっていく。フォトレジストを焼成する際にウェーハ上で0.5℃もの温度差が生じたり、蒸発過程でランプの性能が低下したりすると、本来再現性のあるはずのプロセスが不安定になってしまう。私たちは、そのような不確実性を排除するためにEvatec蒸発用ランプを開発した。</p>