http://warm-ir-halogen.com/ja/tags/%E7%B2%BE%E5%BA%A6/ Recent content in 精度 on Warm IR Halogen Heating Hugo ja Sun, 12 Jul 2026 06:10:46 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Sun, 12 Jul 2026 06:10:46 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ用高精度IRセンサー"></p> <p>高負荷のIRランプが故障したときにウェーハをきれいに保つ方法<br> 正直に言って、高負荷の半導体製造装置では、ランプが破損するのは大きな問題です。それは5分で交換できる単純な部品の故障ではありません。ひどい状況になります。石英管が割れると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降りかかります。そうなると、一括してウェーハがダメになり、チャンバーの清掃も大変になります。<br> 私たちは、そのような事態を防ぐためにIRランプを設計しています。</p> http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Sun, 28 Jun 2026 02:00:37 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ウェーハ用高精度加熱IR"></p> <p>製造現場では、リソグラフィーの工程は自分のペースで進行します。工程が進行中に一時停止することはできません。もしフォトレジストのソフトベイクやハードベイクの際に赤外線温度が変動してしまうと、重要な寸法の変化に対処しなければならず、その結果、歩留まりが低下してしまいます。必要なのは、一定の温度を維持し、ウェーハ全体に均一に熱を供給し、毎回同じ熱処理プロファイルを再現できる加熱装置です。</p>