http://warm-ir-halogen.com/ja/tags/%E5%AE%9F%E9%A8%93%E5%AE%A4/ Recent content in 実験室 on Warm IR Halogen Heating Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 01:25:04 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/semiconductor-laboratory-oven-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 01:25:04 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/semiconductor-laboratory-oven-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="半導体実験室用オーブンラムプ"></p> <p>ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は任意の操作ではなく、必須の工程です。ソフトベイク時にわずか0.5度の誤差があっても、これはウェハの寸法精度に影響を与えます。ハードベイク時には、熱の不均一性が原因でウェハ表面に汚れがつき、歩留まりが悪化します。したがって、シフトを重ねても安定した温度を維持できるオーブンランプが不可欠です。</p>