http://warm-ir-halogen.com/ja/tags/%E3%83%AA%E3%82%BD%E3%82%B0%E3%83%A9%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%BC/ Recent content in リソグラフィー on Warm IR Halogen Heating Hugo ja Sat, 04 Jul 2026 05:28:25 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Sat, 04 Jul 2026 05:28:25 +0800 http://warm-ir-halogen.com/ja/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="リソグラフィ用ソフトベイク加熱素子"></p> <p>なぜ、ソフトベイクには専用のヒーターが<a href="https://o-yate.net">必要</a>なのか？ 私たちは、ウェーハ製造の初期工程で使用されるフォトレジストの硬化処理用のヒーターを製造しています。その目的は単純です。つまり、フォトレジストが硬化する際に、熱を正確に必要な場所に送り込むことです。 実際、わずか1度の誤差でも、一括での製品不良につながりかねません。 そのため、私たちは高密度のハロゲンランプを使ったヒーターを開発しました。これにより、プロセスが必要とする場所にのみ、安定した熱が供給されます。</p>