Fabbrica di asciugatura film separatore di batterie

Mon, 01 Jun 2026 00:11:09 +0800

Sulla linea di produzione, pochi gradi sono sufficienti per trasformare una corsa stabile in un’anomalia. Nella litografia e nella lavorazione del photoresist, la fase di cottura non è solo un preriscaldamento. È il budget termico che determina il controllo della larghezza delle linee, il profilo delle pareti laterali e i livelli di difetti. Quando l’asciugatrice scivola, si osserva non uniformità nel soft-bake lungo il wafer, footing sul pattern e trasporto di solventi che genera particelle. Le conseguenze sono scarti, rilavorazioni e fermi macchina imprevisti.
Abbiamo progettato l’asciugatrice per film separatore di batterie per la fabbrica di semiconduttori perché il film separatore deve essere completamente asciutto prima anche solo di avvicinarsi al percorso del wafer. Qualsiasi umidità residua o deriva termica nel film si riflette direttamente sulla ripetibilità della cottura del photoresist. Questa unità è costruita per mantenere la temperatura stabile, fornire calore pulito senza aggiungere particelle e funzionare turno dopo turno senza deriva.

Separatore on Warm IR Halogen Heating

Fabbrica di asciugatura film separatore di batterie