Lampada di riscaldamento per evaporatore Evatec

Thu, 18 Jun 2026 01:31:05 +0800

Nelle linee di produzione, le fluttuazioni termiche riducono silenziosamente la qualità dei prodotti finiti. Una variazione di temperatura di 0,5°C sulla superficie del wafer durante il processo di essiccazione del photoresist, oppure un funzionamento anomalo dellalampada utilizzata per l’essiccazione, trasformano un processo che dovrebbe essere ripetibile in qualcosa di imprevedibile. Abbiamo progettato la lampada di riscaldamento Evatec per eliminare queste incertezze.

Cosa è importante dal punto di vista tecnico
La lampada utilizza un emettitore a onde corte a base di halogeni, racchiuso all’interno di un involucro in quarzo. Questo permette di ottenere un riscaldamento rapido e diretto, con tempi di risposta inferiori a un secondo. Nell’area trattata, l’uniformità della temperatura rimane entro i ±0,1°C, mentre la ripetibilità della temperatura è costante, sia durante i processi di essiccazione leggera che intensa. Il sistema non presenta problemi legati alla formazione di particelle, quindi i livelli di polvere presenti nella sala pulita rimangono sotto i valori consentiti. La lampada può funzionare 24/7 senza interruzioni, e la sua efficienza rimane costante anche dopo oltre 5.000 ore di funzionamento: la diminuzione dell’efficienza è inferiore al 5%.

Evaporatore on Warm IR Halogen Heating

Lampada di riscaldamento per evaporatore Evatec