Sensorn suhu untuk alat pemrosesan wafer

Thu, 09 Jul 2026 14:26:01 +0800

Pendahuluan
Saat bekerja dengan wafer semikonduktor, menentukan suhu yang tepat bukanlah hal yang penting saja—itu merupakan hal yang sangat penting. Itulah mengapa kami menciptakan sistem pemanas inframerah ini agar panas dapat dialirkan tepat ke tempat yang diperlukan, dan tidak ke tempat lainnya. Kami menghasilkan panas yang tepat dan terfokus untuk sensor suhu serta komponen pemanas Anda. Tujuannya sederhana: memberikan densitas panas yang dibutuhkan oleh peralatan Anda, sekaligus mengurangi penggunaan energi dan melindungi lingkungan. Dengan demikian, pabrik Anda tetap beroperasi secara efisien.

Panas dengan presisi tinggi untuk wafer IR

Sun, 28 Jun 2026 02:00:38 +0800

Di fasilitas produksi, proses litografi berjalan sesuai dengan ritmenya sendiri—anda tidak bisa menghentikannya saat proses sedang berlangsung. Jika suhu IR berubah selama proses pemanasan fotoresist, maka akan terjadi perubahan pada dimensi penting dari chip tersebut, dan hal ini akan berdampak negatif pada kualitas produk. Yang diperlukan adalah sumber panas yang stabil, sehingga suhu di seluruh permukaan wafer tetap seragam, dan profil termalnya tetap konstan setiap kali wafer melewati stasiun pemanasan tersebut.

Yang penting secara teknis: Kami menggunakan pemanas IR yang mampu menyediakan panas yang tepat di tempat yang dibutuhkan oleh fotoresist, dengan menggunakan sumber inframerah berfrekuensi tinggi yang sesuai dengan kondisi proses produksi. Di seluruh permukaan wafer, suhu harus tetap seragam dalam kisaran ±0,1°C, sedangkan tingkat repetibilitas suhu harus mencapai ±0,2°C. Dengan demikian, setiap batch wafer akan mendapatkan perlakuan pemanasan yang sama. Desain pemanas berbasis kuarsa memastikan tidak adanya partikel berbahaya, sekaligus memungkinkan penggunaannya di ruang bersih kelas 1–100. Kontrol siklus tertutup, yang dikendalikan oleh sensor kelas A, membuat penyimpangan suhu tetap di bawah 0,5°C—sehingga lapisan-lapisan sensitif pada wafer tetap terlindungi, sekaligus mempercepat proses pemantapan suhu.

Suhu on Warm IR Halogen Heating

Sensorn suhu untuk alat pemrosesan wafer

Panas dengan presisi tinggi untuk wafer IR