Sensor IR berkualitas tinggi untuk wafer

Sun, 12 Jul 2026 06:10:50 +0800

Mempertahankan Kebersihan Wafer Saat Lampu IR Bermasalah
Sejujurnya, dalam sistem semikonduktor yang bekerja dengan beban tinggi, kerusakan pada lampu merupakan situasi yang sangat merepotkan. Bukan sekadar komponen yang rusak yang bisa diganti dalam waktu lima menit saja; ini merupakan masalah serius. Ketika tabung kuarz patah, pecahan kaca dan gas halogen akan jatuh ke atas wafer-wafer tersebut. Akibatnya, seluruh batch produk menjadi rusak, dan proses pembersihan ruang proses pun menjadi sangat sulit.

Kami merancang lampu IR sedemikian rupa agar hal tersebut tidak terjadi.

Panas dengan presisi tinggi untuk wafer IR

Sun, 28 Jun 2026 02:00:38 +0800

Di fasilitas produksi, proses litografi berjalan sesuai dengan ritmenya sendiri—anda tidak bisa menghentikannya saat proses sedang berlangsung. Jika suhu IR berubah selama proses pemanasan fotoresist, maka akan terjadi perubahan pada dimensi penting dari chip tersebut, dan hal ini akan berdampak negatif pada kualitas produk. Yang diperlukan adalah sumber panas yang stabil, sehingga suhu di seluruh permukaan wafer tetap seragam, dan profil termalnya tetap konstan setiap kali wafer melewati stasiun pemanasan tersebut.

Yang penting secara teknis: Kami menggunakan pemanas IR yang mampu menyediakan panas yang tepat di tempat yang dibutuhkan oleh fotoresist, dengan menggunakan sumber inframerah berfrekuensi tinggi yang sesuai dengan kondisi proses produksi. Di seluruh permukaan wafer, suhu harus tetap seragam dalam kisaran ±0,1°C, sedangkan tingkat repetibilitas suhu harus mencapai ±0,2°C. Dengan demikian, setiap batch wafer akan mendapatkan perlakuan pemanasan yang sama. Desain pemanas berbasis kuarsa memastikan tidak adanya partikel berbahaya, sekaligus memungkinkan penggunaannya di ruang bersih kelas 1–100. Kontrol siklus tertutup, yang dikendalikan oleh sensor kelas A, membuat penyimpangan suhu tetap di bawah 0,5°C—sehingga lapisan-lapisan sensitif pada wafer tetap terlindungi, sekaligus mempercepat proses pemantapan suhu.

Akurasi on Warm IR Halogen Heating

Sensor IR berkualitas tinggi untuk wafer

Panas dengan presisi tinggi untuk wafer IR