http://warm-ir-halogen.com/hi/tags/duv/ Recent content in (DUV) on Warm IR Halogen Heating Hugo hi Fri, 05 Jun 2026 01:45:43 +0800 http://warm-ir-halogen.com/hi/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 01:45:43 +0800 http://warm-ir-halogen.com/hi/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="डीप UV (DUV) रेजिस्ट बेक लैंप"></p> <h1 id="लथगरफ-फलर-पर-आपक-परकरय-पत-ह-एक-बक-ज-आध-डगर-स-भ-भटकत-ह-cd-नयतरण-क-मनक-स-बहर-कर-दत-ह-आप-duv-फटरससट-क-सफट-बक-और-हरड-बक-क-मधयम-स-चलत-ह-तक-सलवट-क-बहर-नकल-ज-सक-और-परफइल-क-लक-कय-ज-सक-यद-थरमल-बजट-गलत-ह-त-रखए-चड-ह-जत-ह-कनर-क-खरदरपन-बढ-जत-ह-और-अचनक-पर-बच-लल-रग-म-आ-जत-ह-duv-रजसट-बक-लप-उस-परवरतनशलत-क-खतम-करन-क-लए-मजद-ह">लिथोग्राफी फ्लोर पर, आपको प्रक्रिया पता है: एक बेक जो आधे डिग्री से भी भटकता है, CD नियंत्रण को मानक से बाहर कर देता है। आप DUV फोटोरेसिस्ट को सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक के माध्यम से चलाते हैं ताकि सॉल्वेंट को बाहर निकाला जा सके और प्रोफाइल को लॉक किया जा सके। यदि थर्मल बजट गलत है, तो रेखाएँ चौड़ी हो जाती हैं, किनारे की खुरदरापन बढ़ जाती है, और अचानक पूरा बैच लाल रंग में आ जाता है। DUV रेजिस्ट बेक लैंप उस परिवर्तनशीलता को खत्म करने के लिए मौजूद है।</h1> <p><strong>अंदर की बात जो महत्वपूर्ण है</strong> हमने इस लैंप को शॉर्ट-वेव ऊर्जा को वहां डालने के लिए बनाया है जहां DUV रेजिस्ट वास्तव में इसे अवशोषित करता है, क्वार्ट्ज भागों के साथ जो स्पेक्ट्रम को स्थिर रखते हैं। चक के पार, वेफर-स्तरीय समानता ±0.1°C के भीतर बनी रहती है, इसलिए बैच में हर वेफर एक समान तापमान इतिहास देखता है। क्लीनरूम का व्यवहार बाद में विचार नहीं किया जाता—क्लास 1-100 स्थानों में कोई कण वृद्धि नहीं होती, और गर्म क्षेत्र में रखरखाव होता है ताकि आउटगैसिंग रेजिस्ट को संदूषित न कर सके। आउटपुट हजारों बेक चक्रों में दोहराया जाता है, और थर्मल मास का प्रबंधन इस तरह किया जाता है कि जब लाइन 24/7 चलती है, तो आपको भटकाव नहीं होता।</p>