ऑफ्ट-बेक प्रक्रिया हेतु विशेष रूप से डिज़ाइन किए गए हीटर क्यों आवश्यक हैं? हम लिथोग्राफी प्रक्रिया हेतु ऐसे हीटर बनाते हैं; खासकर वेफर निर्माण की...

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” वे चरण हैं, जिनमें फोटोरेजिस्ट की संरचना निर्धारित होती है। यदि वेफर पर तापमान समान न हो, तो...

लिथोग्राफी फ्लोर पर, आपको प्रक्रिया पता है: एक बेक जो आधे डिग्री से भी भटकता है, CD नियंत्रण को मानक से बाहर कर देता है। आप DUV फोटोरेसिस्ट को सॉफ्ट...