http://warm-ir-halogen.com/hi/tags/%E0%A4%8F%E0%A4%95%E0%A4%B0%E0%A5%82%E0%A4%AA%E0%A4%A4%E0%A4%BE/ Recent content in एकरूपता on Warm IR Halogen Heating Hugo hi Sat, 27 Jun 2026 01:53:07 +0800 http://warm-ir-halogen.com/hi/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:53:07 +0800 http://warm-ir-halogen.com/hi/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="यूनिफॉर्मिटी फोटोरेजिस्ट बेक लैंप"></p> <p>लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” वे चरण हैं, जिनमें फोटोरेजिस्ट की संरचना निर्धारित होती है। यदि वेफर पर तापमान समान न हो, तो वेफर की मोटाई में भिन्नता आ जाती है। ऐसी स्थिति में, एटचिंग के बाद वेफर की सतह पर असमानताएँ देखने को मिलती हैं, और वेफर बेकार हो जाता है।</p> <p><strong>प्रक्रिया में क्या महत्वपूर्ण है?</strong><br> हमने फोटोरेजिस्ट बेकिंग लैंप को शॉर्ट-वेव NIR एमिटर एरे के साथ बनाया है; इसमें कार्बन-फाइबर-रीइनफोर्स्ड क्वार्ट्ज विंडो भी शामिल है। यह वेफर पर तापमान को ±0.1°C तक संतुलित रखता है, जबकि चक्र-दर-चक्र तापमान में भिन्नता ±0.5°C तक ही रहती है। 16 सेंसरों वाला यह एरे, फोटोरेजिस्ट की संरचना को नियंत्रित करने में मदद करता है; इससे विलायक उचित तरीके से निकल जाता है। यह लैंप क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में 24/7 कार्य करता है, एवं इससे कोई कण भी उत्पन्न नहीं होता; ऐसा इन-लाइन कण-गणना द्वारा सिद्ध होता है।</p>