http://warm-ir-halogen.com/he/tags/%D7%A4%D7%95%D7%98%D7%95%D7%A8%D7%96%D7%99%D7%A1%D7%98/ Recent content in פוטורזיסט on Warm IR Halogen Heating Hugo he Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/he/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/he/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="מנורה לאפיית חומר פוטורזיסט אחיד"></p> <p>בשלב הליתוגרפיה, במהלך תהליכי החימום הרך והקשה, נקבעת או נפגעת מבנה הפוטורזיסט. אם החימום אינו אחיד על פני הוואפר, ייווצרו שינויים בעובי הפוטורזיסט. שינויים אלו יתבטאו לאחר מכן בשינויים ברוחב הוואפר, והוואפר יהפוך לחסר תועלת.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> יצרנו את מנורת החימום של הפוטורזיסט על בסיס מערך של גלאים לפליטת אור באורך גל קצר, בשילוב עם חלון קוורץ מחוזק בסיבי פחמן. המערכת מאפשרת שליטה תרמית אחידה על פני הוואפר, בטווח של ±0.1°C, והשגרירות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.5°C ממחזור למחזור. מערך של 16 גלאים מאפשר שליטה אוטומטית במבנה הפוטורזיסט, וכך נשמרת טמפרטורה יציבה שמאפשרת שלילת הממס מהפוטורזיסט מבלי לחרוג מהטמפרטורה הרצויה. המנורה פועלת 24/7 בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והיא אינה יוצרת שום חלקיקים, כפי שניתן לראות ממספר החלקיקים שנמצא ברמה של פחות מ-0.01/cm².</p>