Lampe de cuisson pour résine DUV (UV profond)

Fri, 05 Jun 2026 01:45:42 +0800

Sur le sol de lithographie, vous connaissez la procédure : une cuisson qui dérive même d’un demi-degré entraîne un contrôle CD hors spécifications. Vous passez le photoresist DUV par une cuisson douce et une cuisson dure pour évacuer le solvant et figer le profil. Si le budget thermique est déséquilibré, les lignes s’élargissent, la rugosité des bords augmente, et le tout se retrouve soudainement dans le rouge. La lampe de cuisson du résistant DUV est là pour éliminer cette variabilité.

Ce qui compte vraiment en coulisses
Nous avons conçu cette lampe pour diffuser de l’énergie à ondes courtes là où le résistant DUV l’absorbe réellement, avec des pièces en quartz qui maintiennent le spectre stable. Sur le mandrin, l’uniformité au niveau du wafer reste dans une fourchette de ±0,1°C, de sorte que chaque wafer du lot subisse la même histoire de température. Le comportement en salle blanche n’est pas une réflexion après coup : les espaces de classe 1 à 100 ne présentent aucune augmentation de particules, et la zone chaude reste contenue pour éviter que les dégazages ne contaminent le résistant. La sortie se répète sur des milliers de cycles de cuisson, et la masse thermique est gérée pour éviter toute dérive lorsque la ligne fonctionne 24/7.

UV on Warm IR Halogen Heating

Lampe de cuisson pour résine DUV (UV profond)