http://warm-ir-halogen.com/fa/tags/%DB%8C%DA%A9%D9%86%D9%88%D8%A7%D8%AE%D8%AA%DB%8C/ Recent content in یکنواختی on Warm IR Halogen Heating Hugo fa Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/fa/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/fa/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="لامپ پخت فوتورزیست یکنواختی"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، مراحل پخت نرم و سخت، جایی هستند که پروفایل رزیست فتوولتائیک شکل می‌گیرد یا از بین می‌رود. اگر فرآیند پخت در سراسر ویفر یکنواخت نباشد، منجر به تغییرات ضخامتی در رزیست خواهد شد. این تغییرات بعدها به صورت انحرافات در ابعاد ویفر پس از فرآیند حکاکی ظاهر می‌شوند و ویفر نیز بی‌فایده می‌گردد.</p> <p><strong>چه چیزهایی اهمیت دارند؟</strong><br> ما لامپ مورد استفاده برای پخت رزیست فتوولتائیک را بر اساس یک آرایه از ساطع‌کننده‌های نور کوتاه‌موج توسعه دادیم؛ این لامپ همراه با یک پنجره از جنس کوارتز تقویت‌شده با الیاف کربنی عمل می‌کند. این سیستم باعث می‌شود یکنواختی دمایی در سراسر ویفر در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتی‌گراد حفظ شود؛ همچنین تکرارپذیری دما نیز در محدوده ±۰٫۵ درجه سانتی‌گراد است. آرایه ۱۶ حسگر نیز به کنترل دقیق دما کمک می‌کند؛ در نتیجه محلول موجود در رزیست به طور یکنواخت خارج می‌شود. این لامپ به طور مداوم در اتاق‌های تمیز کلاس ۱–۱۰۰ کار می‌کند و هیچ ذره‌ای تولید نمی‌کند؛ این موضوع با شمارش ذرات در سطح ویفر کمتر از ۰٫۰۱/سانتی‌متر مربع تأیید می‌شود.</p>