Hornear on Warm IR Halogen Heating

Elemento calefactor para cocción suave en litografía

Sat, 04 Jul 2026 05:28:25 +0800

¿Por qué un sistema de calentamiento suave necesita un calentador diseñado específicamente para ello?
Producimos elementos calefactores destinados al proceso de calentamiento suave en la litografía, específicamente para la fase inicial de fabricación de obleas. La idea es simple: mantener el calor justo donde sea necesario, durante el proceso de curado del fotoreactivos.
Pero la realidad es que si hay un error de un grado, se puede perder todo un lote de productos. Por eso, hemos diseñado nuestros calentadores utilizando tubos de halógeno de alta densidad. Estos emiten calor de manera constante y predecible, exactamente donde se necesita, y nada más.

Lámpara de secado para fotoresistencia de uniformidad

Sat, 27 Jun 2026 01:53:07 +0800

En el proceso de litografía, la fase de secado suave y la fase de secado duro son las que determinan si el perfil del fotoresistente se mantiene estable o no. Si el secado no es uniforme en toda la superficie de la oblea, se producirán variaciones en su espesor. Esto se manifestará posteriormente como desviaciones en el diámetro de la oblea después del proceso de grabado, lo que hace que la oblea quede inutilizable.

Lámpara de horneado de resistencias de UV profundo (DUV)

Fri, 05 Jun 2026 01:45:42 +0800

En el área de litografía, ya conoces el procedimiento: un horneado que se desvía incluso medio grado saca el control de CD fuera de especificación. Pasas el fotoresistente DUV por un horneado suave y un horneado duro para eliminar el solvente y fijar el perfil. Si el presupuesto térmico está desfasado, las líneas se ensanchan, la rugosidad de los bordes aumenta, y todo el lote se encuentra repentinamente en rojo. La lámpara de horneado de resistencias DUV está diseñada para eliminar esa variabilidad.