Lámpara de calentamiento del evaporador Evatec

Thu, 18 Jun 2026 01:31:05 +0800

En la línea de producción, la deriva térmica afecta negativamente al rendimiento del proceso. Un punto caliente de 0.5°C en la oblea durante el secado del fotorrésista, o una lámpara que funciona mal durante el proceso de evaporación, convierten un proceso que debería ser reproducible en algo impredecible. Por eso hemos desarrollado la lámpara de calentamiento Evatec, para eliminar esa incertidumbre.

Lo que realmente importa desde el punto de vista técnico
La lámpara utiliza un emisor halógeno de onda corta dentro de un envoltorio de cuarzo, lo que permite una transmisión rápida y directa de calor, con una respuesta en menos de un segundo. En toda la superficie de la oblea, la uniformidad de temperatura se mantiene en ±0.1°C, y la repetibilidad de la temperatura es alta, desde el proceso de secado suave hasta el proceso de secado intenso. El diseño evita cualquier tipo de fluctuación en la temperatura, por lo que los niveles de contaminación en la sala limpia se mantienen dentro de los límites permitidos. La lámpara puede funcionar las 24 horas del día, sin interrupciones, y su rendimiento se mantiene estable durante más de 5,000 horas, con una disminución inferior al 5%.

Evatec on Warm IR Halogen Heating

Lámpara de calentamiento del evaporador Evatec