http://warm-ir-halogen.com/de/tags/r7s/ Recent content in R7s on Warm IR Halogen Heating Hugo de Fri, 19 Jun 2026 02:45:32 +0800 http://warm-ir-halogen.com/de/posts/r7s-infrared-heating-bulb-for-fab/ Fri, 19 Jun 2026 02:45:32 +0800 http://warm-ir-halogen.com/de/posts/r7s-infrared-heating-bulb-for-fab/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="R7s Infrarot Heizlampen für Fabriken"></p> <p>Auf der Lithografieanlage reicht bereits eine Abweichung von 2 °C bei der Erhitzung des Fotoleitmittels aus, um die kritischen Abmessungen um mehrere Nanometer zu verändern – dadurch werden viele Wafer unbrauchbar. Die Infrarotheizlampe R7s ist so konstruiert, dass die Wärme nur innerhalb des gewünschten Bereichs verteilt wird – und nicht überall sonst.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Die R7s sendet Kurzwellen-Infrarotstrahlen auf das Fotoleitmittel sowie den Substrat – dadurch wird die Wärme direkt übertragen. Der Zielwert wird schnell erreicht und bleibt stabil. Auf der gesamten Oberfläche der Wafer sollte die Temperaturkonstanz bei ±0,1 °C liegen. Dadurch können wiederholbare Ergebnisse erzielt werden – batch für batch.</p>