http://warm-ir-halogen.com/de/tags/pr%C3%A4zision/ Recent content in Präzision on Warm IR Halogen Heating Hugo de Sun, 28 Jun 2026 02:00:37 +0800 http://warm-ir-halogen.com/de/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Sun, 28 Jun 2026 02:00:37 +0800 http://warm-ir-halogen.com/de/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Hohe Präzision bei der Erwärmung von Wafern per Infrarotstrahlung"></p> <p>In der Fertigungsstätte verläuft der Lithografieprozess in seinem <a href="https://o-yate.com">eigenen</a> Rhythmus – man kann den Prozess nicht anhalten, während er läuft. Wenn die IR-Temperatur während des Weichbrennvorgangs oder des Hartbrennvorgangs schwankt, muss man mit Veränderungen in den kritischen Abmessungen rechnen – dadurch sinkt die Qualitätsrate. Was man braucht, ist eine konstante Temperatur, die über der gesamten Waferfläche gleichmäßig ist und jedes Mal dasselbe thermische Profil liefert, wenn das Wafer in die Behandlungsstation kommt.</p>