http://warm-ir-halogen.com/de/tags/lithografie/ Recent content in Lithografie on Warm IR Halogen Heating Hugo de Sat, 04 Jul 2026 05:28:25 +0800 http://warm-ir-halogen.com/de/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Sat, 04 Jul 2026 05:28:25 +0800 http://warm-ir-halogen.com/de/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Lithografie Weichbrennheizelement"></p> <p><strong>Warum ein Heizer für den Soft-Bake speziell dafür <a href="https://o-yate.net">entwickelt</a> werden muss</strong><br> Wir fertigen Heizelemente für den Soft-Bake-Prozess in der Lithografie – insbesondere für die Anfangsphase der Waferherstellung. Der Zweck ist einfach: Die Wärme muss genau dort entstehen, wo sie benötigt wird, während das Photoresist aushärtet.<br> Denn eine Abweichung von nur einem Grad kann dazu führen, dass eine ganze Charge ruiniert wird. Deshalb haben wir unsere Heizer so konstruiert, dass sie aus Hochleistungs-Halogenröhren bestehen. Diese liefern eine konstante, wiederholbare Wärme genau dort, wo sie benötigt wird – und nirgendwo sonst.</p>