http://warm-ir-halogen.com/cs/tags/teplo/ Recent content in Teplo on Warm IR Halogen Heating Hugo cs Sun, 28 Jun 2026 02:00:38 +0800 http://warm-ir-halogen.com/cs/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Sun, 28 Jun 2026 02:00:38 +0800 http://warm-ir-halogen.com/cs/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Vysokopřesný ohřev pro IR destičky"></p> <p>V prostorách výroby probíhá proces litografie vlastním tempem – nelze přerušit jeho průběh. Pokud dojde ke změnám teploty během zahřívání fotorezistu, musíte okamžitě bojovat s problémy spojenými s změnami rozměrů výrobku, což negativně ovlivňuje kvalitu výrobku. Potřebujete tedy teplo, které zůstane konstantní, je homogenní po celé ploše čipu a opakuje se pokaždé, když čip prochází danou stupnicí zpracování.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> Používáme ohřívače na bázi infrakrátkých vln, které poskytují přesné teplo tam, kde ho fotorezistent potřebuje. Přes celou plochu čipu je teplota udržována v rozmezí ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost hodnoty teploty je ±0,2 °C. Každá série výrobků tak prochází stejným procesem zpracování. Konstrukce emitorů na bázi křemíku zajišťuje nulovou tvorbu částic a zároveň umožňuje použití v prostředích s úrovní čistoty 1–100. Řízení s uzavřenou smyčkou a senzorem třídy A zajišťuje, že nadměrný nárůst teploty nepřesáhne 0,5 °C – čímž se chrání citlivé součásti čipu a zároveň se proces rychle stabilizuje.</p>