http://warm-ir-halogen.com/cs/tags/fotorezistent/ Recent content in Fotorezistent on Warm IR Halogen Heating Hugo cs Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/cs/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/cs/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Lampa na vypalování fotorezisty pro jednotnost"></p> <p>V <a href="https://o-yate.net">procesu</a> litografie je právě během fází měkkého a tvrdého zahřevu určován profil fotorezistu – buď se vytvoří požadovaný profil, nebo naopak dojde k jeho narušení. Pokud není zahřev na celé ploše waferu rovnoměrný, vzniknou rozdíly v tloušťce fotorezistu. Ty se později projeví jako odchylky v velikosti struktur po leptání, a wafer tak končí jako šrot.</p> <p><strong>Co je důležité při tomto procesu</strong><br> Lampu na zahřívání fotorezistu jsme navrhli tak, aby používala emitory krátkovlnného infračerveného záření spojené s sklem posíleným uhlíkovými vlákny. Tato konstrukce zajišťuje teplotní rovnoměrnost na úrovni waferu na hodnotě ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost teploty zůstává v rozmezí ±0,5 °C mezi jednotlivými cykly. Série 16 senzorů umožňuje udržovat profil fotorezistu v uzavřené smyčce, čímž je dosaženo stabilní teploty potřebné k odstranění rozpouštědel z fotorezistu bez nadměrných odchylek. Lampa funguje 24/7 v čistých prostorách třídy 1–100 a nevytváří žádné částice – to potvrzují měření počtu částic pod hranicí 0,01/cm².</p>