أشعة تحت الحمراء on Warm IR Halogen Heating

مستشعر أشعة تحت الحمراء عالي الدقة للرقائق

Sun, 12 Jul 2026 06:10:45 +0800

الحفاظ على نظافة الرقاقات عندما تتعطل مصابيح الأشعة تحت الحمراء ذات الحمل العالي
لنكن صادقين: في أنظمة أشباه الموصلات ذات الحمل العالي، فإن انفجار إحدى المصابيح يُعد كارثة حقيقية. ليست مجرد قطعة معطلة يمكن استبدالها في خمس دقائق، بل إنها كارثة كاملة. عندما ينفجر أنبوب الكوارتز، فإن شظايا الزجاج وغاز الهالوجين يتساقطان على الرقاقات، مما يؤدي إلى تدمير دفعة كاملة من الرقاقات، ويتطلب ذلك تنظيفًا مكثفًا للغرفة.
نحن نصمم مصابيح الأشعة تحت الحمراء بحيث لا يحدث ذلك.

حرارة عالية الدقة للأشعة تحت الحمراء في الرقاقات

Sun, 28 Jun 2026 02:00:37 +0800

في قسم التصنيع، يتم تنفيذ عملية الطباعة بالليثوغرافيا وفقًا لوتيرتها الخاصة؛ لا يمكن إيقاف هذه العملية أثناء سيرها. إذا حدث تغيير في درجة الحرارة أثناء عملية تسخين الفوتوريزست، فإن ذلك سيؤدي إلى تغييرات في الأبعاد المطلوبة، مما يؤثر سلبًا على جودة المنتج. ما نحتاجه هو حرارة ثابتة، وموزعة بشكل متساوٍ على الرقاقة، بالإضافة إلى إمكانية تكرار نفس النمط الحراري في كل مرة يتم فيها استخدام الجهاز.

ما هو مهم من الناحية التقنية؟ نستخدم أجهزة تسخين بالأشعة تحت الحمراء لتوفير حرارة دقيقة في المناطق التي يحتاجها الفوتوريزست، باستخدام مصدر أشعة تحت حمراء ذو موجات قصيرة، متوافق مع ظروف العملية. يجب أن تكون درجة الحرارة متساوية على كامل الرقاقة، بفارق لا يزيد عن ±0.1 درجة مئوية، كما يجب أن يكون هناك انتظام في درجة الحرارة، بفارق لا يزيد عن ±0.2 درجة مئوية، حتى تحصل كل دفعة من الرقاقات على نفس ظروف التسخين. تصميم الجهاز يضمن عدم حدوث أي جسيمات، كما أنه متوافق مع معايير الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى 100. يساعد نظام التحكم الخاص بالجهاز في الحفاظ على درجة الحرارة ضمن نطاق معين، بفارق لا يزيد عن 0.5 درجة مئوية، مما يحمي الرقاقات الحساسة ويسرع من عملية التسخين.

مصباح التسخين بالأشعة تحت الحمراء R7s للصناعة

Fri, 19 Jun 2026 02:45:32 +0800

في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، فإن اختلاف درجة الحرارة بمقدار 2 درجة مئوية أثناء عملية التسخين يكفي لتغيير الأبعاد الحرجة للرقائق بمقدار نانومترات، مما يؤدي إلى تحويل الكثير من الرقائق إلى رقائق غير صالحة للاستخدام. تم تصميم مصباح التسخين بالأشعة تحت الحمراء من نوع R7s للحفاظ على درجة الحرارة ضمن نطاق معين، دون أن تتفاوت في أماكن مختلفة من الجهاز.

ما هو المهم في هذا الجهاز؟ يقوم مصباح R7s بإرسال أشعة تحت حمراء قصيرة الأمواج إلى الرقائق والسطوح المستخدمة في العملية، مما يسمح بنقل الحرارة بشكل مباشر. تظل درجة الحرارة ثابتة بسرعة، ويتم التحكم في درجة حرارة الرقائق بدقة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية، وهو ما يضمن تكرار نفس النتائج في كل دفعة من الرقائق.