Hãy ngừng lãng phí thời gian vào việc làm nóng không khí đi.
Nếu bạn từng làm việc trong lĩnh vực xử lý semiconductor, chắc hẳn bạn đã hiểu rõ sự bực bội khi phải chờ cho lò nung nóng lên trước khi có thể bắt đầu công việc. Đó giống như việc cố gắng làm ấm một căn phòng bằng máy sưởi trước khi bắt đầu nấu ăn vậy.
Chúng tôi sử dụng phương pháp khác: chúng tôi dùng đèn hồng ngoại kết hợp với các tấm phản chiếu bằng nhôm. Thay vì làm nóng không khí, nhiệt lượng được truyền trực tiếp vào vật liệu cần xử lý.
Tại sao nhôm lại quan trọng?
Hãy tưởng tượng một chiếc đèn hồng ngoại hoạt động riêng lẻ: một nửa lượng nhiệt được phát ra sẽ bị phản chiếu trở lại vỏ máy. Đó là sự lãng phí hoàn toàn.
Đó chính là lý do tại sao nhôm có độ phản chiếu cao lại được sử dụng. Nhôm hoạt động như một tấm gương, phản chiếu toàn bộ năng lượng trở lại vật liệu cần xử lý. Vì nhôm có khả năng phản chiếu tốt các bức xạ sóng ngắn và trung bình, nên nhiệt lượng được truyền trực tiếp vào vật liệu, giúp tiết kiệm thời gian.
Giảm thời gian chờ đợi
Các hệ thống sử dụng không khí nóng có tính chất “trễ nhiệt” rất cao – tức là cần rất nhiều thời gian để ổn định nhiệt độ. Ngược lại, đèn hồng ngoại hoạt động gần như tức thì. Khi bạn sử dụng đèn hồng ngoại kết hợp với các tấm phản chiếu phù hợp, bạn sẽ không còn phải chờ đợi nữa. Thời gian xử lý mỗi tấm wafer sẽ giảm đi đáng kể.
Nhược điểm
Tuy nhiên, đây không phải là giải pháp “kỳ diệu”. Nhôm có độ phản chiếu cao thì tốt, nhưng nó cũng khá nhạy cảm. Nếu làm việc trong môi trường hóa chất khắc nghiệt hoặc ở nhiệt độ cao, bề mặt nhôm có thể bị oxy hóa. Khi đó, khả năng phản chiếu của nhôm sẽ giảm xuống. Bụi bẩn và các chất cặn bã cũng là những kẻ thù nguy hiểm; nếu các tấm phản chiếu bị bẩn, hiệu suất sẽ giảm sút, và việc phân phối nhiệt cũng sẽ trở nên không hiệu quả.
Hãy giữ cho các tấm phản chiếu luôn sạch sẽ, để chúng có thể hoạt động tốt. Đối với hầu hết các dây chuyền sản xuất semiconductor, đây chính là giải pháp tốt nhất. Nó giúp tiết kiệm diện tích và loại bỏ sự chán chường khi phải chờ đợi lò nung nóng lên. Chỉ cần lưu ý rằng quạt làm mát phải đủ mạnh để xử lý lượng nhiệt dư thừa không được truyền vào vật liệu cần xử lý. Bạn không muốn làm hỏng các thiết bị điện tử của mình khi đang cố gắng xử lý tấm wafer đâu.