فیکٹری میں، بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں تغیرات کا پتہ وارننگ لائٹ سے نہیں چلتا۔ اس کا اثر 0.3% کی سطح پر تغیرات، لائن کی چوڑائی میں تبدیلی، اور ری ورک کے بعد بےکار مصنوعات کی شکل میں ظاہر ہوتا ہے۔ جب اوون کی بتی پرانی ہو جاتی ہے، تو سیٹ پوائنٹ ٹھیک رہتا ہے، لیکن ویفر کی سطح گرم رہتی ہے۔ اس صورت میں، تھرمل کارکردگی کو برقرار رکھنے کے لئے خصوصی پرزوں کی ضرورت ہوتی ہے۔
تکنیکی لحاظ سے اہم باتیں
ہم یہ خصوصی پرزے حقیقی سیمی کنڈکٹرز کی تھرمل کارکردگی کو برقرار رکھنے کے لئے تیار کرتے ہیں۔ ہیٹنگ عنصر 24 گھنٹے مستقل طور پر مستحکم آؤٹ پٹ فراہم کرتا ہے، اور ویفر کی سطح کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے۔ یہ سخت معیارات ویفر کی ساخت کو برقرار رکھتے ہیں، تاکہ اہم ابعاد کنٹرول میں رہیں۔ یہ پرزے کلاس 1–100 کے کلین رومز کے لئے مناسب ہیں، اور استعمال کیے گئے مواد اور سیلز ایسے ہیں کہ بیکنگ کے دوران کوئی غیرضروری ذرات پیدا نہ ہوں۔
ڈیزائن میں دہرائی کی صلاحیت
ڈیزائن میں دہرائی کی صلاحیت موجود ہے۔ دروازہ کھولنے کے بعد درجہ حرارت جلد ہی بحال ہو جاتا ہے، اور کنٹرول سسٹم ایسا ہے کہ کوئی غیرمطلوب تغیرات نہ ہوں۔
یہ کیوں کارگر ہے؟
لیتھوگرافی اور ریزسٹ پروسیسنگ میں، درجہ حرارت کو بعد میں درست نہیں کیا جا سکتا۔ درست تھرمل کنٹرول سے مصنوعات کی کوالٹی بہتر ہوتی ہے، ری ورک کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور پروسیسنگ کے دوران کوئی غیرمطلوب تغیرات نہیں ہوتے۔ اس سے آلات کی استحکام بھی بہتر ہوتا ہے، اور بتیوں سے متعلق الارمز اور تھرمل تغیرات کی وجہ سے ہونے والا وقت ضائع نہیں ہوتا۔
نتیجہ
اس کا نتیجہ یہ ہے کہ ہر ویفر کی لاگت کم ہو جاتی ہے، بےکار مصنوعات کی مقدار کم ہو جاتی ہے، اور پروڈکشن کی رفتار مستحکم رہتی ہے۔
آپ کو کیا جاننا ضروری ہے؟
یہ خصوصی پرزے بڑے OEM آلات میں استعمال ہوتے ہیں، لیکن ان کی سمت اور تھرمل کنکشن بہت اہم ہے۔ ان کی تبدیلی کو PM کے دوران کرنا بہتر ہے، اور اس دوران تھرموکپل کے رابطے اور دروازے کی سیلنگ کی جانچ کرنی چاہیے۔ بہترین نتائج کے لئے، خصوصی پرزے کو اصل کیلیبریشن کرور سے میل کھانا چاہیے، اور پروڈکٹ جاری کرنے سے پہلے مانیٹر ویفر پر اس کی جانچ کرنی چاہیے۔