ในกระบวนการลิโธกราฟี แม้ว่าอุณหภูมิของสารโฟโตเรซิสต์จะเปลี่ยนแปลงเพียง 2°C เท่านั้น ก็สามารถทำให้ขนาดของชิ้นส่วนที่ผลิตได้เปลี่ยนแปลงไปหลายนาโนเมตร จนทำให้ชิ้นส่วนเหล่านั้นกลายเป็นขยะไปเลย หลอดไฟอินฟราเรด R7s ถูกออกแบบมาเพื่อควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ ไม่ให้อุณหภูมิกระจายไปทั่ว
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง
หลอดไฟ R7s ใช้แสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นเพื่อส่งความร้อนไปยังสารโฟโตเรซิสต์และวัสดุที่ใช้ในการผลิต ทำให้อุณหภูมิสามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำ โดยมีความแปรปรวนของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C เท่านั้น ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมกระบวนการผลิตได้อย่างสม่ำเสมอในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์
การออกแบบของหลอดไฟ
หลอดไฟ R7s มีการออกแบบโครงสร้างภายในเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดอนุภาคใดๆ ขึ้นมาทุกครั้งที่มีการเพิ่มอุณหภูมิ ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 สิ่งนี้ช่วยให้จำนวนอนุภาคไม่เพิ่มขึ้นอย่างกะทันหัน นอกจากนี้ หลอดไฟนี้ยังสามารถใช้งานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของประสิทธิภาพน้อยกว่า 5% เท่านั้น ซึ่งหมายความว่าสามารถใช้งานได้ตลอด 24/7 โดยไม่จำเป็นต้องปรับแต่งอะไรบ่อยๆ
เหตุใดหลอดไฟนี้จึงเหมาะกับกระบวนการลิโธกราฟี
กระบวนการลิโธกราฟีต้องการการควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำ หากอุณหภูมิสูงเกินไป จะทำให้สารละลายระเหยออกมา และทำให้ความหนืดของสารเปลี่ยนแปลงไป ในทางกลับกัน หากอุณหภูมิต่ำเกินไป ก็จะทำให้เกิดอนุภาคที่ขัดขวางการเคลือบสารบนพื้นผิว ด้วยหลอดไฟ R7s คุณสามารถควบคุมอุณหภูมิและเวลาได้อย่างแม่นยำ ทำให้ได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์
ข้อควรระวัง
หลอดไฟ R7s ถูกออกแบบมาสำหรับการใช้งานกับฐานหลอดไฟแบบมาตรฐาน แต่อุปกรณ์ที่ใช้รองรับหลอดไฟก็ต้องเหมาะสมด้วย โดยรูปร่างของกระจกสะท้อนแสงและทิศทางการไหลของอากาศต้องเหมาะสมกับลักษณะการกระจายความร้อนของหลอดไฟ เพื่อให้อุณหภูมิอยู่ในช่วง ±0.1°C นอกจากนี้ หลอดไฟนี้ยังต้องมีช่วงเวลาในการอุ่นตัวก่อนที่อุณหภูมิจะคงที่ ดังนั้นจึงต้องจัดวางหลอดไฟให้เข้ากับลำดับการทำงานของเครื่องจักรด้วย
วิธีการใช้งานเพื่อให้ได้ผลลัพธ์ที่ดีที่สุด
เพื่อให้ได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอ ควรใช้หลอดไฟนี้ร่วมกับเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิที่ได้รับการปรับแต่งมาแล้ว และควบคุมการทำงานด้วยคอนโทรลเลอร์ที่สามารถปรับแก้ความแปรปรวนของแรงดันไฟฟ้าได้