Aquecedor para secagem de wafers de sensores MEMS
Mantendo tudo seguro durante a secagem das bolachas MEMS
A realidade é que secar as bolachas de sensores MEMS após uma limpeza química é como brincar...
Aquecedor de secagem para wafer MEMS
Em uma linha de 300 mm, uma variação inferior a 0,1°C durante a secagem é suficiente para deslocar uma dimensão crítica em nanômetros — e observar o...