
Membuat proses pengeringan semikonduktor menjadi lebih mesra alam
Ketika bekerja dengan wafer semikonduktor, kita sebenarnya sedang berhadapan dengan situasi yang sangat sensitif berkaitan suhu. Kita perlu menghilangkan bahan pelarut dan kelembapan daripada wafer tersebut. Namun, jika pengurusan suhu tidak dilakukan dengan baik, maka keseluruhan wafer tersebut akan rosak.
Selama ini, kita bergantung pada sistem pemanasan jenis resistif yang sudah ketinggalan zaman. Sistem ini kurang efisien. Kini, kita beralih kepada pengawal pemanasan inframerah digital. Daripada memanaskan seluruh udara di dalam oven – yang seolah-olah memanaskan seluruh rumah hanya untuk memanaskan sekeping pizza – pengawal ini memfokuskan haba secara langsung pada permukaan wafer tersebut.
Hentikan pembaziran tenaga
Sistem lama sering kali mengalami masalah suhu yang berlebihan. Suhu akan naik terlalu tinggi, kemudian turun semula. Ini merupakan kitaran yang membuang banyak tenaga untuk setiap wafer yang diproses. Pengawal inframerah digital dapat mengatasi masalah ini dengan menggunakan mekanisme PID. Dengan cara ini, suhu dapat dikawal dengan tepat.
Tapi keajaiban sebenar berlaku apabila menggunakan teknologi inframerah berbentuk impuls. Pengawal ini akan “memotong” aliran kuasa secara berkala, sehingga haba dapat dikekalkan tanpa perlu menggunakan tenaga secara berterusan. Ini merupakan cara yang lebih efisien.
Realiti berkaitan peralatan
Jika kita ingin membina “kilang hijau”, kita tidak boleh sekadar mencampakkan peralatan ini dan melupakkannya begitu sahaja. Kita perlu mempertimbangkan penggunaan tenaga oleh peralatan tersebut. Lampu inframerah yang berkuasa tinggi memang bagus kerana ia cepat memberikan haba, tetapi ia juga membebankan sumber tenaga. Masalah utama ialah sistem penyejukan. Jika kita ingin meningkatkan kelajuan proses pemprosesan, kipas perlu berfungsi dengan baik. Jika sistem elektronik menjadi terlalu panas, sistem akan berhenti berfungsi. Akibatnya, sistem yang sepatutnya efisien itu akan menjadi tidak berguna.
Mengurangkan pelepasan karbon
Jika kita ingin mencapai sasaran neutral karbon di kilang pemprosesan semikonduktor, kita perlu mengurangkan penggunaan tenaga. Salah satu cara untuk mencapainya ialah menggunakan sistem pemanasan yang boleh dihidupkan serta-merta. Bayangkan betapa banyak tenaga yang terbuang apabila sistem beroperasi pada suhu tinggi semasa pertukaran syif atau semasa pemeriksaan rutin. Dengan pengawal digital, kita hanya perlu mematikan sistem tersebut. Apabila kita bersedia untuk meneruskan operasi, sistem akan kembali beroperasi dalam masa beberapa saat sahaja. Tiada lagi pembaziran tenaga. Hanya haba yang diperlukan sahaja yang digunakan.