
Mengekalkan Keselamatan Semasa Mengeringkan Wafer MEMS
Realitinya, proses pengeringan wafer sensor MEMS setelah dibersihkan secara kimia merupakan tindakan yang berisiko tinggi. Komponen pemanas terletak sangat dekat dengan wap-wap yang mudah terbakar dan meletup. Jika kita menggunakan lampu inframerah biasa untuk tujuan ini, ia akan menimbulkan masalah besar.
Itulah sebabnya kami reka pemanas inframerah ini secara khusus. Kami membungkusnya dengan lapisan khas yang dapat melindungi filamen daripada serangan bahan kimia, dan yang lebih penting lagi, untuk mencegah kebakaran.
Rahsianya terletak pada sistem penutupan yang efektif.
Kami menggunakan pembungkus kuarsa yang tertutup rapat, serta lapisan pelindung yang tahan terhadap bahan kimia yang agresif. Tujuannya adalah untuk memastikan bahawa sambungan elektrik tetap terpisah sepenuhnya daripada udara luar. Kami juga menggunakan bahan epoksi atau bahan gabungan kaca dan logam yang berkualiti tinggi di titik sambungan agar sebatian organik yang mudah terbakar tidak dapat masuk ke dalam badan lampu tersebut.
Bayangkanlah, jika sistem penutupan gagal dan filamen terbakar, percikan api yang kecil itu boleh mencetuskan kebakaran yang besar. Kami telah merancang proses penutupan ini sedemikian rupa agar perkara seperti ini tidak berlaku.
Mencapai keseimbangan antara haba dan keselamatan
Pemanas ini mengeluarkan radiasi gelombang pendek yang kuat untuk mengeringkan wafer dengan cepat, tanpa merosakkan permukaan wafer tersebut. Ia merupakan keseimbangan yang halus. Kami menyesuaikan kuasa pemanas agar suhu permukaan tetap berada di bawah titik api bahan kimia tersebut.
Anda akan mendapat proses pengeringan yang cepat, tetapi anda perlu memastikan aliran udara berjalan lancar. Lampu ini menghasilkan haba yang tinggi. Jika sistem pengudaraan menjadi lambat, haba akan terkumpul di dalam bilik tersebut, dan itulah saat bahaya boleh berlaku.
Tiada masalah semasa penyelenggaraan
Kami tidak mahu anda menghabiskan masa berjam-jam untuk membaiki peralatan ini. Oleh itu, kami reka peralatan ini agar boleh diganti dengan mudah. Kabelnya direka khusus untuk zon berbahaya, dengan lapisan penebat yang tahan terhadap haba. Kami juga menggantikan penyambung yang lemah dengan penyambung yang lebih kukuh dan tahan getaran. Ini memastikan risiko renjatan elektrik hilang sepenuhnya. Apabila tiba masa untuk mengganti lampu, anda hanya perlu menukar lampu tersebut, mengencangkan sambungan, dan sistem akan berfungsi semula. Tiada kerumitan dalam proses penyambungan semula.