라인에서의 건조
페로브스카이트 필름의 건조 과정은 부드러운 워밍업이 아닙니다. 이는 결정 크기, 용매 제거 및 결함 밀도를 직접적으로 설정하는 열 예산 문제입니다. 핫 존이 이동하거나 기판 전체의 열이 고르지 않으면 수율이 조용히 타격을 받습니다. 이는 나중에 미세 균열, 핀홀 및 전기 테스트에서만 나타나는 엣지 비드로 나타납니다. 내부에서 중요한 것 우리는 에너지가 페로브스카이트 스택으로 직접 빠르게 전달되도록 근적외선(NIR) 방출을 기반으로 이 건조 램프를 제작했습니다. 서브 밀리미터 엔지니어링된 열 필드와 결합하면, 측정하고 방어할 수 있는 웨이퍼 수준의 온도 균일성을 얻고, 교대 작업 간에 안정성을 유지하는 설정값 반복성을 확보할 수 있습니다. 이 시스템은 Class 1–100 클린룸에 통합되며, 낮은 입자 발생으로 작동하고 열 프로파일은 수천 시간 동안 안정적으로 유지됩니다. 포토레지스트와 인접한 단계를 실행할 때, 동일한 제어 방식이 소프트 베이크와 하드 베이크를 일관되게 유지하므로, 중요 치수가 드리프트를 쫓기보다는 규격 내에 유지됩니다. 생산에서의 신뢰성 생산에서는 가치가 운영적입니다. 과도한 용매 제거 없이 빠른 용매 제거, 필름 비균일성으로 인한 웨이퍼 스크랩 감소, 엣지 비드 변동과 관련된 재작업이 줄어듭니다. NIR이 필름을 직접 가열하므로 에너지 사용량이 감소합니다. 가동 시간도 개선됩니다. 열 안정성이 반복 가능할 때, 재자격을 받기 위해 멈추는 시간이 줄어듭니다. 그리고 공정 창이 좁고 데이터 도달 시간이 실제 병목 현상일 때, 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 몇 가지 실용적인 참고 사항 NIR 건조는 직선 시야(line-of-sight) 방식이므로 기판 형상과 고정 장치의 그림자를 통합 과정에서 고려해야 합니다. 커미셔닝은 짧지만, 다층 스택에 대해 램프 높이, 스캔 속도 및 방출 보정을 조정해야 합니다. 이러한 매개변수가 설정되면, 프로세스는 견고하지만, 초기 정렬은 협상할 수 없습니다.