Mengapa Pemanasan IR Lebih Unggul Daripada Pemanasan Udara Saat Membutuhkan Waktu yang Singkat
Jika Anda bekerja di bidang fabrikasi semikonduktor, Anda pasti tahu bahwa waktu merupakan faktor paling penting yang perlu diperhatikan. Setiap detik yang dihabiskan oleh wafer untuk mencapai suhu yang tepat berarti uang yang terbuang sia-sia.
Kebanyakan orang menggunakan metode pemanasan udara, tetapi ada masalah mendasar dalam metode ini. Anda harus memanaskan seluruh ruangan hanya untuk menghangatkan satu benda kecil saja. Anda perlu menunggu hingga udara bergerak, dinding ruangan menyerap panas, dan kondisi udara menjadi stabil sebelum substrat tersebut merasakan efek pemanasan. Prosesnya sangat lambat.
Pemanasan IR menghilangkan proses perantara tersebut.
Alih-alih menggunakan udara, kita menggunakan radiasi elektromagnetik untuk mengirim energi langsung ke bahan yang akan dipanaskan. Prosesnya hampir instan—tidak perlu menunggu kipas berputar atau udara bergerak. Suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam hitungan detik. Bagi seorang insinyur, ini merupakan keuntungan besar, karena waktu yang dibutuhkan untuk memproses suatu batch produk berkurang drastis.
Selain itu, masalah “titik dingin” juga bisa dihindari dengan menggunakan pemanasan IR. Konveksi udara sulit dikendalikan, apalagi pada wafer yang berukuran besar. Dengan IR, kita dapat mengatur aliran panas secara tepat. Kita hanya perlu menyesuaikan posisi lampu agar bagian tepi dan tengah wafer mendapatkan panas yang sama. Dengan demikian, jumlah produk yang rusak akan berkurang.
Selain itu, ruang bersih yang digunakan pun menjadi lebih efisien. Anda tidak perlu menggunakan blower atau saluran udara yang berukuran besar. Sistemnya menjadi lebih sederhana.
Namun, penggunaan IR juga memiliki kekurangan. Radiasi IR bersifat terarah; sedangkan udara dapat mengelilingi objek. Jika bentuk objek tidak sempurna atau memiliki bagian-bagian yang sulit dijangkau, maka akan muncul “titik bayangan” di mana panas tidak sampai ke sana. Anda perlu memperhatikan sudut penempatan lampu dengan cermat. Terkadang, diperlukan pelindung reflektif untuk memantulkan energi ke titik-titik yang sulit dijangkau. Jika penempatan lampu tidak tepat, maka akan muncul titik-titik panas yang dapat merusak substrat—dan tentu saja hal ini tidak diinginkan.