Mencapai Proses Pengerasan Wafer dengan Efisien, Tanpa Membuang Energi
Jika Anda ingin mencapai tujuan netralitas karbon di pabrik semikonduktor, hal tersebut bergantung pada cara Anda mengelola panas. Saat proses pengerasan wafer berlangsung—yaitu saat upaya untuk mengeras bahan fotoresist atau menghilangkan zat pelarut—Anda tidak boleh membuang-buang energi.
Rahasianya bukanlah menggunakan pemanas yang lebih besar. Yang penting adalah memastikan bahwa panas benar-benar sampai ke permukaan wafer, bukan hanya membuat chasis mesin menjadi panas. Di sinilah peran reflektor IR berkemampuan reflektansi tinggi sangat penting.
Hentikan Pemborosan Energi
Bayangkanlah lampu biasa. Lampu tersebut memancarkan panas ke segala arah, yaitu 360 derajat. Dalam proses pengerasan wafer, hal ini berarti setengah dari energi yang digunakan langsung terbuang begitu saja. Kita menggunakan reflektor yang dilapisi emas atau aluminium untuk memantulkan foton kembali ke permukaan wafer. Dengan demikian, lebih banyak panas yang dapat disalurkan ke permukaan wafer.
Yang terbaik adalah jika Anda bisa menurunkan daya lampu atau mempercepat kecepatan konveyor. Dengan begitu, penggunaan energi akan berkurang, dan panas yang keluar dari mesin pun berkurang. Ini merupakan situasi yang menguntungkan bagi kedua belah pihak.
Memilih Bahan yang Tepat
Umumnya, kita menggunakan aluminium murni atau paduan logam yang dilapisi emas. Emas memang merupakan bahan terbaik karena mampu bertahan dalam suhu yang sangat tinggi tanpa teroksidasi. Namun, tentu saja harga emas cukup mahal.
Masalahnya adalah, jika sistem yang digunakan memiliki daya yang tinggi, reflektor tersebut akan mengalami tekanan yang besar. Anda perlu memastikan bahwa housing reflektor memiliki sistem ventilasi yang baik. Jika reflektor tersebut terlalu panas, lapisannya akan rusak. Hal ini akan menyebabkan adanya “titik panas” pada permukaan wafer, sehingga seluruh batch wafer akan rusak akibat proses pengerasan yang tidak merata.
Kesimpulan: Ketelitian Sangat Penting
Beralih ke sistem pabrik “hijau” dan mengurangi penggunaan energi per wafer memang sangat menguntungkan, dan sistem tersebut juga dapat mencapai suhu pengerasan yang diinginkan dengan cepat. Namun, ada syaratnya. Anda perlu memastikan posisi wafer sangat tepat. Jika wafer bergeser sedikit saja, intensitas panasnya akan menurun drastis. Anda tidak boleh sembarangan. Anda membutuhkan alat mekanis yang andal untuk memastikan wafer berada tepat di titik fokus. Ditambah lagi, Anda membutuhkan kontroler PID yang tepat agar suhu tidak melebihi batas yang ditentukan, sehingga permukaan wafer tidak terbakar.