Mengamankan Proses Pengeringan Wafer MEMS
Faktanya, mengeringkan wafer sensor MEMS setelah proses pembersihan kimia merupakan hal yang berisiko tinggi. Elemen pemanas berada sangat dekat dengan uap-uap yang mudah terbakar atau meledak. Jika kita menggunakan lampu inframerah biasa untuk tujuan ini, maka kita akan menimbulkan masalah.
Itulah sebabnya kami merancang pemanas inframerah ini secara khusus. Kami membungkusnya dengan lapisan khusus yang mencegah bahan kimia merusak filamen pemanas, dan yang lebih penting lagi, mencegah terjadinya kebakaran.
Kuncinya ada pada sistem pengemasan yang ketat.
Kami menggunakan kemasan kuarsa yang tertutup rapat, serta lapisan pelindung yang tahan terhadap bahan kimia agresif. Tujuannya adalah agar kontak listrik tetap terisolasi dari udara. Kami juga menggunakan bahan epoxy berkualitas tinggi atau sambungan kaca-logam di titik-titik tertentu, sehingga senyawa organik volatil tidak dapat masuk ke dalam casing lampu.
Bayangkan saja: jika sistem pengemasan gagal dan filamen pemanas rusak, percikan api kecil tersebut bisa memicu kebakaran. Kami merancang sistem pengemasan ini sedemikian rupa agar hal tersebut tidak terjadi.
Mencapai keseimbangan antara panas dan keamanan
Pemanas ini menghasilkan radiasi gelombang pendek yang intens, sehingga wafer dapat dikeringkan dengan cepat tanpa merusak substratnya. Ini membutuhkan keseimbangan yang tepat. Kami menyesuaikan daya pemanas agar suhu permukaan tetap berada di bawah titik nyala uap kimia tersebut.
Anda akan mendapatkan proses penguapan yang cepat, tetapi Anda perlu memperhatikan aliran udara. Lampu ini menghasilkan panas yang tinggi. Jika sistem ventilasi tidak berfungsi dengan baik, panas akan menumpuk di dalam chamber, dan itulah saatnya risiko kebakaran muncul.
Tidak ada masalah saat perawatan
Kami tidak ingin Anda menghabiskan waktu berjam-jam untuk memperbaiki peralatan ini. Itulah sebabnya kami merancang peralatan ini agar dapat diganti secara mudah. Kabel-kabelnya dirancang khusus untuk digunakan di area berbahaya, dengan isolasi yang kuat sehingga tidak akan retak atau rusak setelah beberapa ratus siklus pemanasan. Kami juga menghindari penggunaan konektor yang rapuh yang mudah longgar seiring waktu. Sebagai gantinya, kami menggunakan konektor yang kokoh dan tahan getaran.
Dengan demikian, risiko terjadinya arus listrik yang tidak terkendali pun hilang. Saat tiba saatnya untuk mengganti lampu, Anda hanya perlu menggantinya, memastikan koneksi tetap kuat, dan peralatan akan berfungsi kembali. Tidak perlu repot-repot memasang kabel ulang.