ফ্যাব ফ্লোরে, লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়াটি নিজস্ব গতিতে চলে। প্রক্রিয়াটি চলাকালীন আপনি এটিকে থামাতে পারেন না। যদি ফটোরেজিস্টকে নরম বা কঠিন অবস্থায় রাখার সময় IR তাপমাত্রায় পরিবর্তন ঘটে, তাহলে আপনাকে তৎক্ষণাৎ সমস্যাগুলো মোকাবিলা করতে হয়; ফলে উৎপাদন ক্ষমতা কমে যায়। আপনার দরকার হলো এমন এক ধরনের তাপ, যা স্থির থাকে, ওয়েফারের সর্বত্র সমানভাবে বণ্টিত হয়, এবং প্রতিবার ক্যারিয়ারটি স্টেশনে আসার সময় একই ধরনের তাপমাত্রা বজায় থাকে।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা ওয়েফারে IR হিটার ব্যবহার করি; এগুলো ফটোরেজিস্টের জন্য প্রয়োজনীয় তাপমাত্রা সরবরাহ করে। ওয়েফারের সর্বত্র তাপমাত্রা +/−0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর সেটপয়েন্টের পুনরাবৃত্তি ±0.2°C এর মধ্যে থাকে। এতে প্রতিটি লটেই একই ধরনের তাপমাত্রা বজায় থাকে। কোয়ার্টজ-ভিত্তিক ইমিটার ডিজাইনের কারণে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না; আর এটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ। ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থার কারণে তাপমাত্রা 0.5°C-এর নিচে থাকে; ফলে সংবেদনশীল অংশগুলো সুরক্ষিত থাকে।
কেন এটি উৎপাদনে কার্যকর?
৭×২৪ ঘণ্টা কাজ করার সময়ও এই যন্ত্রটি কোনো ব্যাঘাত ছাড়াই কাজ করে। আমরা দেখেছি যে নিরবচ্ছিন্নভাবে কাজ করার সময়ও কোনো ত্রুটি দেখা যায়নি। ফিল্ড ডেটাঅনুযায়ী, ৫,০০০+ ঘণ্টা কাজ করার পরও আউটপুটের হ্রাস ৫%-এর কম; আর তাপমাত্রার পরিবর্তন ০.১°C/১০০০ ঘণ্টার মধ্যে থাকে। এর ফলে CD নিয়ন্ত্রণ আরও ভালো হয়, অপ্রয়োজনীয় ওয়েফারের পরিমাণ কমে যায়, আর রক্ষণাবেক্ষণের সময়ও কমে যায়। দ্রুত তাপমাত্রা বৃদ্ধির কারণে বেকিং সময় কমে যায়; কিন্তু তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ ঠিকই বজায় থাকে। ফলে উৎপাদন ক্ষমতা বাড়ে, আর শক্তি ব্যবহারও কম হয়।
ব্যবহারিক বিবরণসমূহ:
ইনস্টলেশনের জন্য প্রয়োজন হয় নির্দিষ্ট ও নিয়ন্ত্রিত বিদ্যুৎ সরবরাহ, এবং উচ্চমানের EMI শিল্ডিং। হিটারটি স্ট্যান্ডার্ড OEM স্টেশনগুলোতে ব্যবহৃত হয়; কিন্তু থার্মাল ইন্টারফেসটি ঠিকভাবে ম্যাচ করতে হয়। ভুল ম্যাচিংয়ের কারণে মাইক্রো-নন-ইউনিফর্মিটি দেখা দেয়। রেসিপি প্যারামিটারগুলো ঠিকভাবে নির্ধারণ করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং প্রক্রিয়া প্রয়োজন। একবার এটা করা হলে, প্রক্রিয়াটি প্রতিবারই ঠিকভাবে চলতে থাকে।